电子束缺陷检测设备如何支持芯片制造？

作者：东方晶源微电子发布时间：2026-08-06

设备通过电子束成像、高速工件台和数据计算系统获取高分辨率图像，再结合缺陷检测与自动缺陷分类算法识别异常。它可用于工艺开发、制程监控和良率分析，实际检测能力以样片验证结果为准。