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计算光刻平台可以解决哪些工艺难题？

作者：东方晶源微电子发布时间：2026-08-06

计算光刻可通过模型、算法和仿真对掩模图形及制造过程进行协同优化，帮助改善图形保真度、工艺窗口和开发效率。具体功能模块与适用节点应根据客户工艺路线进行确认。

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