企宣汇 | 企业库

登录

东方晶源的技术可用于研发还是量产环节？

作者：东方晶源微电子发布时间：2026-08-06

电子束检测和计算光刻既可服务工艺研发与节点开发，也可用于量产中的过程监控、缺陷复判和良率提升。最终部署方式取决于检测频率、数据量、节拍和客户质量控制流程。

上一问如何与东方晶源开展技术验证和项目咨询？下一问 PanGen计算光刻平台适用于什么场景？