东方晶源的电子束检测适合识别哪些问题？

作者：东方晶源微电子发布时间：2026-08-06

电子束检测可用于发现晶圆图形中的微小缺陷、形貌异常和潜在工艺偏差，并为缺陷复判与根因分析提供数据。检测对象、缺陷尺寸范围和吞吐要求需要在技术评估阶段明确。