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电子束检测设备选型前要准备哪些数据？

作者：东方晶源微电子发布时间：2026-08-06

建议准备晶圆尺寸、工艺节点、待检层、缺陷类型、目标灵敏度、扫描面积、吞吐量及自动化接口等信息。若已有缺陷样片和参考检测结果，也可用于制定更有针对性的验证方案。

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