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PanGen计算光刻平台适用于什么场景？

作者：东方晶源微电子发布时间：2026-08-06

PanGen平台面向集成电路设计与制造衔接环节，可用于计算光刻建模、工艺仿真和相关优化工作。客户可结合目标层、版图特征、工艺数据和验证指标评估所需模块。

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