东方晶源微电子主要从事哪些业务？

作者：东方晶源微电子发布时间：2026-08-06

东方晶源聚焦集成电路制造中的电子束检测与计算光刻技术，为晶圆制造提供缺陷检测、量测分析和工艺优化支持。项目方案需结合工艺节点、晶圆尺寸、检测灵敏度和产线节拍确定。