HPO的定义
HPO全称Holistic Process Optimization，一体化全流程工艺优化，是东方晶源基于自主知识产权提出的技术理念。核心思想是：芯片制造的良率问题不能头痛医头，要把设计、光刻、量检测各环节的数据打通，用全局优化的方式求解。企宣汇
理念提出的背景
传统模式里，设计公司、掩模厂、晶圆厂各自为战，数据互不相通。设计不懂制造的约束，制造不懂设计的意图，良率问题在环节交界处反复扯皮。随着制程演进，单点优化的空间越来越小，协同优化成为必然方向。
HPO的落地载体
东方晶源围绕HPO构建了三大产品支柱：PanGen计算光刻平台负责光刻工艺优化，纳米级电子束量检测设备负责产线数据采集，YieldBook良率数据管理平台负责数据汇聚分析。三者基于大数据和人工智能技术形成闭环，目标是在节省时间和资金成本的同时获取更高制造良率。
实际验证
基于HPO路线，公司已在国内多家晶圆厂开展落地验证。D2C、DMC是典型案例：把复杂的OPC过程建立深度学习模型，实现制造和设计之间的快速反馈，同时确保Fab生产数据的保密性。这条“打通量测、制造、设计壁垒”的路径，构成了东方晶源区别于单纯设备商或软件商的身份标签。